華為技術(shù)有限公司定制鄭州博納熱電爐外加熱式氣氛爐發(fā)貨
- 所屬欄目:氣氛爐案例
- 發(fā)布時(shí)間: 2025-05-08
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客戶背景
華為技術(shù)有限公司作為全球領(lǐng)先的通信技術(shù)解決方案提供商，在半導(dǎo)體材料、新型電子元件研發(fā)等領(lǐng)域?qū)Ω邷責(zé)崽幚碓O(shè)備提出了嚴(yán)苛要求。需定制一款外加熱式氣氛爐，用于氮化硅等半導(dǎo)體材料的實(shí)驗(yàn)和小批量生產(chǎn)，要求設(shè)備具備高精度控溫、預(yù)抽真空、惰性氣體保護(hù)及快速交付能力。
需求分析
1、技術(shù)需求
溫度范圍：需覆蓋室溫至1000℃，長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
控溫精度：±1℃，支持多段編程自動(dòng)控溫。
氣氛控制：預(yù)抽真空至-0.08MPa，通入氮?dú)饣驓鍤庖越档脱鹾俊?/p>
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：全密閉爐膛，雙層風(fēng)冷外殼，確保安全性和散熱效率。
2、定制化需求
爐膛尺寸：根據(jù)華為實(shí)驗(yàn)樣品規(guī)格，定制300×300×400mm的爐膛空間。
配件擴(kuò)展：集成觸摸屏操作界面、三路氣體流量控制系統(tǒng)及直連式真空泵。
3、交付要求
快速生產(chǎn)：從下單到交付需在30天內(nèi)完成。
技術(shù)支持：提供現(xiàn)場(chǎng)安裝調(diào)試及終身維護(hù)服務(wù)。
解決方案
鄭州博納熱窯爐有限公司基于其箱式氣氛爐得基礎(chǔ)上，為華為量身定制了BR-TF1000外加熱式氣氛爐，具體方案如下：
1、核心參數(shù)優(yōu)化
溫度控制：采用工業(yè)級(jí)0.2精度PID儀表，50段可編程曲線，支持0-20℃/分鐘加熱速率，確保材料處理工藝的精確復(fù)現(xiàn)。
爐膛尺寸：φ400x600mm
真空與氣氛系統(tǒng)：預(yù)抽真空后通入氮?dú)浠旌蠚怏w，并通過(guò)浮子流量計(jì)實(shí)現(xiàn)氣體流量精準(zhǔn)調(diào)節(jié)。
2、定制化功能升級(jí)
智能交互：集成7寸觸摸屏及電腦連接軟件，支持工藝曲線存儲(chǔ)與遠(yuǎn)程監(jiān)控。
安全防護(hù)：超溫報(bào)警、熱電偶斷裂保護(hù)及漏電斷路器，符合實(shí)驗(yàn)室安全標(biāo)準(zhǔn)。
3、罐體外熱式氣氛爐技術(shù)參數(shù)
| 序號(hào) | 技術(shù)參數(shù) | BR-TF1000 |
|---|---|---|
| 1 | 額定加熱功率 | 40KW（±10%） |
| 2 | 設(shè)計(jì)溫度 | 1000℃ |
| 3 | 長(zhǎng)期工作溫度 | ≤1000℃(此溫度為驗(yàn)收溫度) |
| 4 | 加熱元件 | 北京首鋼HRE絲 |
| 5 | 控溫精度 | 充氣時(shí)±2℃；穩(wěn)定時(shí)±1℃ |
| 6 | 溫度均勻性 | 1000℃時(shí)三芯熱電偶檢測(cè)有效工作區(qū)±5℃ |
| 7 | 爐膛尺寸(寬×高×長(zhǎng)) | φ400x600mm |
| 8 | 工作壓力 | ≤0.03MPa |
| 9 | 冷態(tài)極限真空度 | 7X10-3Pa（空爐并經(jīng)凈化） |
| 10 | 測(cè)溫傳感器 | K型熱電偶 |
| 11 | 冷卻方式 | 充氣自然冷卻 |
| 12 | 保護(hù)氣氛 | 氧氣、氮?dú)狻鍤?、空氣?/td> |
| 14 | 控制方式 | 手動(dòng)/自動(dòng)自由切換 |
| 15 | 爐體加熱方式 | 熱壁式加熱（外加熱） |
| 17 | 控制方式 | PID控制 |
| 18 | 升溫速率 | ≤10℃/min |
3、交付與服務(wù)
依托博納熱自有生產(chǎn)線，30天內(nèi)完成設(shè)備組裝并通過(guò)72小時(shí)老化測(cè)試。
提供一年整機(jī)質(zhì)保及成本價(jià)配件供應(yīng)，技術(shù)人員現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試并培訓(xùn)操作流程。
實(shí)施效果
效率提升：設(shè)備交付后，華為實(shí)驗(yàn)室成功將氮化硅燒結(jié)周期縮短30%，良品率提升至98%以上。
工藝適配性：多段編程功能支持復(fù)雜熱處理曲線，滿足半導(dǎo)體材料研發(fā)的多樣化需求。
長(zhǎng)期合作：基于此次合作，華為與博納熱簽署戰(zhàn)略協(xié)議，后續(xù)定制多臺(tái)大功率氣氛爐用于6G材料量產(chǎn)。
客戶評(píng)價(jià)
“博納熱團(tuán)隊(duì)的專業(yè)性和響應(yīng)速度令人印象深刻，定制化方案完全契合我們的技術(shù)要求，設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，為研發(fā)效率提供了有力保障?！?/p>
——華為材料實(shí)驗(yàn)室負(fù)責(zé)人
案例總結(jié)
鄭州博納熱通過(guò)技術(shù)定制+快速交付模式，為華為提供了高性能外加熱式氣氛爐，展現(xiàn)了其在高溫設(shè)備領(lǐng)域的技術(shù)積累與服務(wù)能力。
鄭州博納熱電爐工廠實(shí)景
